|
|
180(W) ×210(D) mm
◆等离子发生器(韩国KM)频率13.56MHZ,功率0-200W连续调节,自动阻抗匹配
可选择40KHZ中频等离子发生器(0-300W)
◆控制系统触摸屏(7寸)+PLC单步法全自动控制,采用欧姆龙、西门子等**品牌电器元件,并具有手动、自动两种模式
◆真空系统德国莱宝(Leybold)真空泵 D16C (20m3/h)
SMC截止阀、充气阀,德国(Inficon)压力传感器
◆压力控制PID闭环自动稳压控制
◆气路系统2路工艺气体配置,电子质量流量计、针阀,美国飞托克(FITOK)气体管路