◆ 外形尺寸

570(W)×420(D)×740(H)mm    

 ◆ 仓体结构(合金铝，约30升) 

 290(W)×290(H)×360(D)mm

  ◆ 电极面积 

 250(W) ×300(D) mm,5层  

  ◆ 清洗模式 

 RIE or PE模式转换  

  ◆ 等离子发生器(台湾KM) 

 频率13.56MHZ,功率0-300W连续调节,自动阻抗匹配

 可选择40KHZ中频等离子发生器(0-500W) 

  ◆ 控制系统 

 触摸屏（7寸）+PLC单步法全自动控制 ,采用欧姆龙、西门子等**品牌电器元件，

 性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式

  ◆ 真空系统 

 德国莱宝(Leybold)真空泵   D30C (37m3/h)

 进口气动角阀、充气阀，德国(Inficon)压力传感器

  ◆ 压力控制 

  PID闭环自动稳压控制

  ◆ 气路系统 

 2路工艺气体+1路氮气配置，电子质量流量计、针阀，美国飞托克(FITOK)气体管路